一、MPI 8英寸高低温探针 台的产品特点:
(1)适用于多种晶圆量测应用:
模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
失效分析 - 探针卡 / 节间探测
可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
(2)MPI ShielDEnvironment屏蔽环境:
专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
支援飞安级低漏电值量测
温度量测范围 -60 °C 至 300 °C
(3)工效学设计及弹性选配:
便利的晶圆单片上片,搭配简单快速的晶圆预对准功能,实现自动化流程简单化
垂直点测控制环境 (Vertical Control Environment, VCE?),方便安全有效地侧面观察点测区域
内建防震系统
完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作
安全测试管理系统 (Safety Test Management, STM?) 选配,方便在任意温度进行上片/下片,并自动进行露点控制
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